5歲能詩，“始入小學”。
6歲“通聲韻，工屬對”
10歲作《武侯論》。曾就學於黃宗羲，研究經學，對《周易》尤有心得。
19歲“讀書於武林吳山，從慈溪葉伯寅先生學”，
20歲補諸生，出門遠遊，遍曆雲貴、華中、華北、東南各地，寫出大量詩作，名噪一時。曾在納蘭明珠府中教授其幼子。
23歲應童子試
康熙二十八年（1689），牽涉洪升《長生殿》的國恤張樂事件，遭革職，驅逐回籍。後改名慎行，字悔餘，號他山，又號查田，籍貫改作錢塘。
康熙三十二年(1693)始中舉人。
四十一年（1702），康熙帝東巡，因大學士陳廷敬等推薦，詔隨入都，入直南書房。
康熙四十二年(1703)賜進士出身，特授翰林院編修，後充武英殿總裁纂述。曾3次隨駕巡遊塞外，歲時風土，悉記以詩。得帝器重，親書“敬業堂”額以賜。
康熙五十二年（1713）乞休歸裏，家居10餘年，築初白庵以居，潛心著述，人稱初白先生。
雍正四年（1726），因弟查嗣庭犯訕謗案，以家長失教獲罪，被逮入京，世宗知其端謹，特許其父子返回田裏。
次年放歸，不到兩個月即去世。其長子克建、堂弟嗣珣都是進士，時稱“一門七進士、叔侄五翰林”。